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現在,抗蝕劑的涂布方法根據電路圖形的精密度和產量分為以下三種方法:絲網漏印法、干膜/感光法、液態抗蝕劑感光法。
抗蝕油墨采用絲網漏印法直接把線路圖形漏印在銅箔表面上,這是常用的技術,適用于大批量生產,成本低廉。形成的線路圖形的精度可以達到線寬/間距0.2~O.3mm,但不適用于更精密的圖形。隨著微細化這種方法逐步不能適應。與以下所敘述的干膜法相比需要有一定技術的操作人員,操作人員必須經過多年的培養,這是不利的因素。
干膜法只要設備、條件齊全就可制得70~80μm的線寬圖形。現在0.3mm以下的精密圖形大部分都可以用干膜法形成抗蝕線路圖形。采用干膜,其厚度是15~25μm,條件允許,批量水平可以制作30~40μm線寬的圖形。
當選擇干膜時,必須根據與銅箔板、工藝的匹配性并通過試驗來確定。實驗的水平即使有好的分辨能力,但并不一定在大批量生產使用時能有很高的合格率。柔性印制板薄且易于彎曲,如果選用硬一點的干膜則其較脆而隨動性差,所以也就會產生裂縫或剝落從而使蝕刻的合格率降低。
干膜是卷狀的,生產設備和作業較簡單。干膜是由較薄的聚酯保護膜、光致抗蝕膜和較厚的聚酯離型膜等三層結構所構成。在貼膜之前首先要把離型膜(又稱隔膜)剝去,再用熱輥將其貼壓在銅箔的表面上,顯影前再撕去上面保護膜(又稱載體膜或覆蓋膜),一般柔性印制板兩側有導向定位孔,干膜可稍微比要貼膜的柔性銅箔板狹窄一點。剛性印制板用的自動貼膜裝置不適用于柔性印制板的貼膜,必須進行部分的設計更改。由于干膜貼膜與其他的工序相比線速度大,所以不少廠都不用自動化貼膜,而是采用手工貼膜。
貼好干膜之后,為了使其穩定,應放置1 5~20min之后再進行曝光。
線路圖形線寬如果在30μm以下,用干膜形成圖形,合格率會明顯下降。批量生產時一般都不使用干膜,而使用液態光致抗蝕劑。涂布條件不同,涂布的厚度會有所變化,如果涂布厚度5~15μm的液態光致抗蝕劑于5μm厚的銅箔上,實驗室的水平能夠蝕刻1Oμm以下的線寬。
液態光致抗蝕劑,涂布之后必須進行干燥和烘焙,由于這一熱處理會對抗蝕膜性能產生很大影響,所以必須嚴格控制干燥條件。
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